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Sin@SiC-SiC系列

關(guān)鍵詞:

碳基

所屬分類:

產(chǎn)品與應(yīng)用

德智新材產(chǎn)品涵蓋碳基、陶瓷及其高端材料,應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造各個環(huán)節(jié),如單晶生長、外延、刻蝕、擴(kuò)散、CVD、PVD等。產(chǎn)品性能媲美海外SiC耗材先進(jìn)友商,助力高端制造國產(chǎn)化。

 

產(chǎn)品性能:

湖南德智新材料有限公司

耐高溫

湖南德智新材料有限公司

耐高壓

湖南德智新材料有限公司

耐磨

湖南德智新材料有限公司

使用壽命高

湖南德智新材料有限公司

耐腐蝕性

湖南德智新材料有限公司

純凈度高

 

材料及特性

基材:燒結(jié)SiC(厚度>0.5 mm)

涂層:β-SiC(厚度<300 μm)

 

應(yīng)用場景

晶圓制造

• 外延

• 擴(kuò)散

 

 

實現(xiàn)技術(shù)

• 粉末燒結(jié)技術(shù)

• 精密加工(SiC)

• 低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)

 

性能要求

• 致密度高

• 結(jié)合力強(qiáng)

• 高純度

• 良好導(dǎo)熱

• 高電阻(部分產(chǎn)品)

• 抗氧化

• 抗開裂

 

應(yīng)用領(lǐng)域

• LED光電

• 集成電路

• 第三代半導(dǎo)體


推薦產(chǎn)品


公司秉承共創(chuàng)、共享、共贏的理念,專注于從事碳基、陶瓷及其高端材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售

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